MICRO-EPSILON Optronic GmbH
Weißlicht-Interferometer interferoMETER
Weißlicht-Interferometrie mit bis zu 30 pm Auflösung und 6 kHz Messrate für absolute Distanzmessungen.
Die innovativen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon setzen eine Benchmark in der hochpräzisen Abstands- und Dickenmessung. Die Absolut-Interferometer ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer Sub-Nanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand. Die Interferometer werden für die absolute Abstandsmessung sowie die Dickenmessung von transparenten Objekten und Wafern eingesetzt.
Überzeugen Sie sich: Messgenauigkeit auf höchstem Niveau für Anwendungen in Industrie und im Halbleitermaschinenbau.
https://www.micro-epsilon.de/abstandssensoren/interferometer/
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